一、校準(zhǔn)前準(zhǔn)備：明確基準(zhǔn)與環(huán)境控制

 

　　校準(zhǔn)的第一步是“定標(biāo)準(zhǔn)”。需依據(jù)國(guó)家計(jì)量檢定規(guī)程（如JJG818-2017《表面粗糙度比較樣塊校準(zhǔn)規(guī)范》）或儀器說(shuō)明書，選擇經(jīng)溯源的高等級(jí)標(biāo)準(zhǔn)器——通常為多刻線樣板（Ra值覆蓋常用范圍）或標(biāo)準(zhǔn)粗糙度比較樣塊。同時(shí)，環(huán)境控制至關(guān)重要：溫度應(yīng)穩(wěn)定在（20±2）℃，濕度≤80%RH，避免振動(dòng)、強(qiáng)電磁干擾及氣流擾動(dòng)，否則會(huì)導(dǎo)致傳感器信號(hào)漂移或機(jī)械結(jié)構(gòu)形變。此外，需檢查儀器外觀無(wú)損傷，測(cè)針無(wú)磨損，電纜連接牢固，確保硬件狀態(tài)正常。

 

　　二、校準(zhǔn)實(shí)施：從基礎(chǔ)到參數(shù)的全流程驗(yàn)證

 

　　1.零點(diǎn)與示值誤差校準(zhǔn)：開機(jī)預(yù)熱30分鐘至穩(wěn)定后，將測(cè)針輕觸標(biāo)準(zhǔn)器的平面區(qū)域，執(zhí)行“調(diào)零”操作，消除初始偏移。隨后選取3-5個(gè)不同Ra值的標(biāo)定點(diǎn)（覆蓋儀器量程的20%-100%），依次測(cè)量并記錄示值。計(jì)算示值誤差=（儀器顯示值-標(biāo)準(zhǔn)值）/標(biāo)準(zhǔn)值×100%，需滿足規(guī)程要求（如±5%以內(nèi)）。

 

　　2.重復(fù)性校準(zhǔn)：對(duì)同一標(biāo)定點(diǎn)連續(xù)測(cè)量10次，計(jì)算標(biāo)準(zhǔn)差（S），重復(fù)性誤差=S/平均值×100%，通常要求≤3%，以驗(yàn)證儀器抗隨機(jī)干擾能力。

 

　　3.傳感器線性度與測(cè)力校準(zhǔn)：通過(guò)更換不同規(guī)格測(cè)針（如2μm、5μm半徑）或調(diào)整測(cè)力（0.5-1.5mN），驗(yàn)證不同工況下的測(cè)量一致性；部分高精度儀器需額外校準(zhǔn)X軸位移精度，確保掃描軌跡與理論輪廓匹配。

 

　　三、校準(zhǔn)后處理：記錄、修正與周期管理

 

　　校準(zhǔn)完成后，需詳細(xì)記錄標(biāo)準(zhǔn)器信息、環(huán)境條件、各參數(shù)測(cè)量結(jié)果及誤差值，形成可追溯的校準(zhǔn)報(bào)告。若發(fā)現(xiàn)超差（如示值誤差＞5%），需通過(guò)調(diào)整儀器內(nèi)部參數(shù)（如放大倍數(shù)、濾波器截止頻率）或更換損壞部件（如測(cè)針、導(dǎo)軌）進(jìn)行修正，并重新驗(yàn)證直至合格。最后，根據(jù)使用頻率與場(chǎng)景風(fēng)險(xiǎn)，制定校準(zhǔn)周期（通常建議6-12個(gè)月），并在儀器上粘貼校準(zhǔn)標(biāo)識(shí)，注明有效期。